名师简介
个人简介
男，1961年出生，1986年和1990年分别获德国汉堡大学化学系硕士和博士学位，1990－1992年在德国MicroParts公司从事MEMS三维微加工技术的博士后研究工作，自1993年起在上海交通大学任职，2004年赴新加坡南洋理工大学作访问学者。先后主持和承担了国防科工委、国家自然科学基金委、国家科技部教育部、上海市科委、教委和美国3M公司的多项科研项目。开发出了新型X光掩模板制备工艺和新的非硅三维微加工技术－DEM技术，发表论文四十余篇，
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