名师简介
个人简介
材料与化工学院副院长,硅材料国家重点实验室主任和浙大纳米中心主任。90-92年间在美国MIT从事硅低温CVD外延研究。回国后率先发展了UHV/CVD低温外延和高真空MOCVD新技术。在优质薄硅CVD外延、宽禁带半导体GaN、ZnO晶体薄膜制备、ZnO的P型掺杂与紫蓝光器件研制做出了一系列创新成果。目前主持国家科技部"973"课题1项(535万),国家自然基金重点项目1项(160万)、面上基金2项,博士点基金等,已完成国家及省部级项目20余项。获省部级奖3项,申报发明专利26项,发表论文160篇,其中SCI、EI收录论文80余篇。遴选为浙江省首批"中青年学术带头人",入选国家"百千万人才工程"第一、二层次培养计划和教育部"跨世纪优秀人才培养计划"。兼任中国电子学会理事、半导体与集成技术委员会委员等;任《半导体学报》、《科学通报》等期刊编委
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