褚家如

褚家如 教授 博士生导师 联系地址： 合肥市金寨路96号 中国科学技术大学 精密机械与精密仪器系 电话：0551-3607504，3601358 传真：0551-3501358 Email: jrchu@ustc.edu.cn 实验室主页：http://iwmf04.ustc.edu.cn/imst 中国科学技术大学毕业（85年学士、88年硕士、97年博士），1988年起留校任教。曾任日本东京大学工学部访问学者（90年10月-91年3月、94年9月-12月）、西班牙马德里自治大学访问学者（94年1月-2月）、日本学术振兴会研究员（JSPS Fellow,97年6月-98年3月）和日本国立机械技术研究所NEDO产业技术研究员（98年4月-00年9月）。1999年入选中国科学院“百人计划”，2000年回到中国科技大学担任教授/博士生导师，02年-03年间任精密机械与精密仪器系常务副主任。现任工程科学学院分党委书记、副院长、微系统技术科学研究中心主任，兼任中国科学技术大学超精密工程研究所所长、校学术委员会委员和学位委员会委员，中国科学院南京天文光学技术研究所兼职研究员/博士生导师。学术服务包括担任中国微米纳米技术学会理事、中国仪器仪表学会理事、精密机械学会副秘书长、安徽省仪器仪表学会常务副理事长，担任《传感技术学报》、《光学精密工程》和《中国科学技术大学学报》等期刊编委，并曾应邀担任《J. Micromechanics and Micro-engineering》 guest editor主编IWMF特辑。入选国家教育部“优秀青年教师资助计划”，“安徽省高校优秀共产党员”，中国电子学会优秀论文奖，享受国务院政府特殊津贴。 主要科研方向: 微机电系统： 压电陶瓷薄膜的制备、微图形化和机电特性表征； 高性能压电薄膜智能微结构的设计、制造和应用技术； 非硅非平面微细加工及微系统集成技术； 微结构在成膜、图形化和不同应用条件下的力学行为。 超精密测量技术： 超灵敏位移和质量传感器； 极微弱力信号和电信号拾取； 表面纳米级微观形貌的高效测量； 精密天文光学仪器 LAMOST焦面光纤定位技术； 光纤探测器位置测量与控制； 轻量化波前校正器设计及制造； 近期主要科研项目: 中国科学院/国家人事部“引进国外杰出人才”基金：压电智能微系统基础技术研究 教育部博士点基金：用于扫描刻蚀加工的微小等离子体发生器设计及性能仿真 国家自然科学基金：飞秒激光双光子微结构加工方法与装置研究 国家自然科学基金：基于微小等离子体扫描的微细加工技术 国家自然科学基金：并行探针热辅助机械读写方法与机理研究 中科院知识创新工程方向性项目子课题：适用于星载自适应光学系统的微变形镜技术 中国科学院科学仪器专项课题：磁共振力显微镜中电子自旋探测磁探针研制 国家大科学工程项目课题：LAMOST焦面光纤定位装置研制 代表性论文： Integration of displacement sensor into bulk PZT thick film actuator for MEMS deformable mirror, Sensors and Actuators, A: Physical, v 147, n 1, Sep 15, 2008, p 242-247 Preparation of a high-quality PZT thick film with performance comparable to those of bulk materials for applications in MEMS, Journal of Micromechanics and Microengineering, v 18, n 6, Jun 1, 2008, p 065001 Influences of environmental humidity on micro object handling efficiency, Journal of Micromechanics and Microengineering, v 17, n 2, Feb 1, 2007, p 187-192 Design, fabrication and characterization of a bulk-PZT-actuated MEMS deformable mirror, Journal of Micromechanics and Microengineering, v 17, n 12, Dec 1, 2007, p 2439-2446 Microdevice assembling by adhesive type probe in humid environment, Review of Scientific Instruments, 76, 085104, 2005. A novel wet etching process for PZT thin film for application in MEMS, Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 43, No. 6B, 2004 Design and Simulation of Microheater Actuated by A PZT Microcantilever for High Density Data Storage; Sensors and Actuators A108(2003), pp7-11; Microstructure and electrical properties of PZT thick film prepared by electrostatic spray deposition; Sensors and Actuators A108(2003)，pp2-6; Effect of bottom electrodes on microstructures and electric properties of sol-gel derived Pb(Zr0.53,Ti0.47)O3 thin films, Thin Solid Films, 416(2002)，pp66-67 ESD method for Thick PZT film preparation, Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 41(2002), Pt.1, No.6B，pp4317-4320 Novel multi-bridge structured piezoelectric micro-device for scanning force microscopy, J. Vac. Sci. Technol. B.18(6), pp. 3604-3607, Nov/Dec 2000